Оптические профилометры MicroXAM

Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.

Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.

Оптическая схема MicroXAM

Семейство оптических профилометров MicroXAM включает в себя два прибора: MicroXAM-100 и MicroXAM-1200.

MicroXAM-100

Профилометр MicroXAM-100 разработан для исследователей, которые заинтересованы в получении быстрых и повторяемых результатов с помощью инструмента, не обремененного излишними уровнями сложности.

MicroXAM-100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых.

Преимущества MicroXAM-100:

3D рендеринг поверхности с возможностью извлечение профиля отдельной линии сканирования;
Вычисления шероховатости, неровности, толщины покрытий и других геометрических характеристик;
Простое ориентирование по образцу благодаря интуитивно понятному интерфейсу и наличию видеокамеры;
Перенос данных из окна измерений без остановки процесса сканирования;
Опционально доступно программное обеспечение для математического анализа изображений SPIP™
Интуитивно понятный интерфейс, применяемый в программном обеспечении MicroXAM-100, позволяет пользователю быстро осваивать процедуры измерения и максимально эффективно использовать оборудование.
Площадка сканирования интерферометра MicroXAM-100 может варьироваться от 100Х100 мкм до 1000Х1000 мм (в зависимости от используемого объектива).

Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).

Полный пакет 3D аналитического программного обеспечения для работы MicroXAM-100 с Windows®, Intel процессором и TFT плоским монитором. Аналитический пакет обеспечивает расчет поверхностной шероховатости, волнистости, высоту ступеньки и другие параметры поверхности.

Анализ полученнных данных возможно так же проводить и удаленно, тем самым позволяя проводить непрерывные измерения - повышать производительность измерений.

Ниже приводятся основные технические данные профилометра MicroXAM - 100.

Измерительные характеристики
Воспроизводимость измерения вертикальной ступеньки	1 нм (1σ)
Погрешность измерений	<0,1%
Вертикальный диапазон сканирования	250 мкм (10 мм опционально)
Скорость вертикального сканирования	До 7,2 мкм/с
Площадь обзора	101х101 мкм – 1,0х1,0 мм
Характеристики оборудования
Разрешение видеокамеры	480х480
Диапазон перемещения предметного столика	100х100 мм
Наклон предметного столика	±6°
Виброизоляция	пассивная
Увеличение объективов	50х, 20х, 10х, 5х
Физические размеры
Длина	406 мм
Ширина	304 мм
Высота	431 мм
Вес прибора	22,7 кг
Вес при транспортировке	68,0 кг

Дополнительные опции MicroXAM-100:

Широкий набор объективов с увеличением от 5Х до 50Х;
Предметный столик размером 100 мм с сервоприводами перемещения по осям X, Y, Z, а так же по углу наклона;
Программное обеспечение для «сшивания» нескольких изображений в одно для расширения площади обзора. Позволяет соединять изображения в матрицу 4х4. «Сшивание» может быть осуществлено в любой момент времени после измерений и при использований любого из объективов;
Программное обеспечение для офлайн анализа данных. Позволяет обрабатывать полученные данные на удаленном компьютере. Так же возможно создание программы и очереди обработки полученных данных и загрузка этой программы на компьютер, подключенный к профилометру.

Основные области применения:

Исследование текстуры поверхности;
Измерение высоты вертикальной ступени поверхности;
Исследования шероховатости и дефектности поверхности;
Исследования напряжений в тонких плёнках;
Биологические исследования;
Микроэлектромеханические системы;
3D визуализация топографии поверхности;
Материаловедение и технология новых материалов.

MicroXAM-1200

Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором

Преимущества MicroXAM-1200:

Доступен широкий выбор объективов с коэффициентом увеличения от 2,5х до 50х, что позволит рассмотреть самые мелкие детали и увидеть макрокартину поверхности одновременно. С помощью четырехпозиционного переключателя коэффициент увеличения может изменяться для обеспечения требуемого масштаба и угла обзора.
Стандартная видеокамера может быть заменена на цифровую видеокамеру высокого разрешения.
Предметный столик перемещается с помощью сервопривода. Доступны различные размеры предметных столиков - от 4 до 8 дюймов.
Мощный пакет программного обеспечения для анализа поверхности MapVue AE обеспечивает сбор, обработку и визуализацию поверхности. С помощью её развитого интерфейса вы сможете наложить на полученное изображение фильтры, соединить несколько изображений в одно, рассчитать широкий спектр марко и микро 2D и 3D параметров.

Измерительные характеристики
СКО измерений	0,01 нм (1σ)
Воспроизводимость измерений вертикальной ступеньки	1 нм или 0,1% (1σ)
Класс точности	0,1
Вертикальный диапазон сканирования	10 мм
Скорость вертикального сканирования	До 7,2 мкм/с
Площадь обзора	82х62 мкм - 5,3х4,0 мм

Характеристики оборудования
Разрешение видеокамеры	52х480 для аналоговой видеокамеры 1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция)
Диапазоны перемещения предметного столика X-Y	100х100 мм 150х150 мм 200х200 мм
Диапазон отклонения зонда	±7°
Привод вращения видеокамеры	±90°, червячная передача
Персональный компьютер	Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM, CD-RW/DVD ROM, Windows XP Professional OS, 19’’ LCD
Коэффициент увеличения объективов	50х, 20х, 10х, 5х

<< Вернуться на предыдущую страницу

Оборудование