|
Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения. Оптическая схема MicroXAM |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Семейство оптических профилометров MicroXAM включает в себя два прибора: MicroXAM-100 и MicroXAM-1200. MicroXAM-100
MicroXAM-100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых. Преимущества MicroXAM-100:
Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).
Дополнительные опции MicroXAM-100:
Основные области применения:
MicroXAM-1200 Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором
|
Преимущества MicroXAM-1200:
Измерительные характеристики | |
СКО измерений | 0,01 нм (1σ) |
Воспроизводимость измерений вертикальной ступеньки | 1 нм или 0,1% (1σ) |
Класс точности | 0,1 |
Вертикальный диапазон сканирования | 10 мм |
Скорость вертикального сканирования | До 7,2 мкм/с |
Площадь обзора | 82х62 мкм - 5,3х4,0 мм |
Характеристики оборудования | |
Разрешение видеокамеры |
52х480 для аналоговой видеокамеры 1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция) |
Диапазоны перемещения предметного столика X-Y |
100х100 мм 150х150 мм 200х200 мм |
Диапазон отклонения зонда | ±7° |
Привод вращения видеокамеры | ±90°, червячная передача |
Персональный компьютер |
Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM, |
Коэффициент увеличения объективов | 50х, 20х, 10х, 5х |