Стилусный профилометр P-6

Стилусный профилометр P-6

Стилусные профилометры P-series (в линейку которых и входит профилометр Р-6) относятся к классу контактных (механических) профилометров. Принцип их действия заключается в том, что алмазный стилус перемещается по поверхности, отслеживая рельеф. Сигнал о положении стилуса на поверхности оцифровывается и преобразуется в 2Dили 3Dкартинку.

Популярность у пользователей стилусного профилометра P-6 строится на использовании передовых разработок компании KLA-Tencor – программного управления предметным столиком, малошумящего измерительного тракта, высокого разрешения и размеров получаемых изображений. Все перечисленные характеристики приятно совмещаются с экономичной ценой прибора.

Исключительная точность анализа поверхности, возможность для осуществления которого предоставляет профилометр P-6, позволяет добиваться лучшего соотношения цена/качество среди всех производителей. Три различные измерительные насадки, доступные для этого прибора, обеспечивают гибкость измерения топографии поверхности в широких диапазонах вертикального перемещения, а интуитивно понятный интерфейс делает работу на приборе простой и понятной для пользователя.

Стилусный профилометр P-6 обладает выдающимися характеристиками, что делает его очень мощным инструментом для:

Разработки процессов производства и контроля научных исследований;
Производства фотоэлектрических элементов;
Производства устройств хранения данных;
Производства микроэлектромеханических систем;
Оптоэлектроники;
Прочих применений промышленной метрологии.

Ниже приведена краткая таблица измерительных характеристик профилометра P-6.

Измерительные возможности
Измеряемые характеристики	2D, 3D топография, 2D напряжения
Видеокамера	Цифровая, USB, черно/белая (цветная – опционально)
Тип сенсора стилуса	Емкостной
Контроль усилия воздействия	Ручной, Динамический
Площадь обзора	2100х1700 мкм (1333х1080 мкм – опционально)
Площадь обзора	82х62 мкм - 5,3х4,0 мм
Перемещение предметного столика X,Y Угол наклона Вращение	Сервопривод Ручное Ручное
Размер предметного столика	Ø150 мм
Операционная система	Windows XP
Программное обеспечение	Profiler 7.3.1
Опции анализа	Profiler SW, Apex 2D&3D
Анализ напряженности	2D
Средства автоматизации	Последовательные измерения, постановка в очередь
Виброизоляция	Пассивная, встроенная
Максимальное число последовательных измерений	20
Поддерживаемые стилусы	Суб-микронные, 2,5,12.5,25 мкм
Вакуумный зажим	По вертикали
Технические характеристики
Размер образца	Не более 150 мм
Толщина образца	Не более 50 мм
Длина сканируемого участка	до 60 мм (базовая)/ до 150 мм (опционально)
Число срезов данных	Не более 4 000 000
Диапазон перемещений по вертикали	1 мм
Повторяемость в измерении вертикальной ступеньки	Не более 6 Å (1σ)
Разрешение по вертикали	0,0078 Å
Точность установки предметного столика	2 мкм
Скорость сканирования	2 мкм/с – 25 мм/с
Минимальная сила воздействия стилуса	<0,05 мг
Частота срезов данных	2 кГц (максимально)

Основными приложениями для стилусного профилометра P-6 являются:

Измерение толщины и шероховатости тонких пленкок и покрытий;
Исследование структуры пластичных материалов (возможно за счет приложения переменного усилия к стилусу, использования емкостного датчика положения, а так же сменных стилусов);
Измерение глубины травления;
Вычисление более чем 40 различных параметров поверхности, в том числе шероховатость, плоскопараллельность, макрорельеф с помощью программного обеспечения для анализа пиков;
Расчет параметров топологии поверхности по данным измерений и преобразование результата в 3D модель. В качестве опции предлагается офлайн анализ данных, позволяющий производить анализ без влияния на производительность;
Измерение напряжений в тонких пленках (позволяет оптимизировать процессы для предотвращения появления трещин или нарушений адгезии);
Выявление дефектов поверхности. Продвинутые характеристики системы выявления дефектов позволяют добавлять модели дефектов, созданные пользователем. Даже самые маленькие дефекты в случае их обнаружения могут быть перемещены в центр сканируемой области, оптимизируя тем самым процесс обследования и анализа дефектов.

<< Вернуться на предыдущую страницу

Оборудование