Компоненты для систем, работающих в условиях СВВ

Alpha 110

Полусферический энергоанализатор. Alpha 110 - компактный, высокоэффективный инструмент для реализации полного спектра методик электронной спектроскопии.

Превосходное энергетическое разрешение
Альфа-пластины предотвращают образование размытых пиков
Изменяемая диафрагма
Высочайшая чувствительность
Возможность проведения локального анализа

Avantage

Программное обеспечение для получения и обработки данных

Используемая платформа - Windows
Управление всеми компонентами спектрометра
Простота использования

XR3 - двуханодный рентгеновский источник

Высокоэмиссионный, лёгкий в обслуживании рентгеновский источник мощностью 400 Вт

Al и Mg аноды
Минимизирует паразитные пики (очень низкая перекёстная наводка (< 0.35 %), серебряная подложка)

XR5- микрофокусный рентгеновский монохроматор

Монохроматор на основе двойного кристалла, использующий микросфокусированную электронную пушку. Максимальная чувствительность при анализе малых областей.

Непревзойдённое разрешение для РФЭС
Размер области анализа задаётся путем фокусировки падающего излучения
Анод перемещается для продления срока службы

UVL - источник УФ излучения высокой интенсивности

Источник со встроенной системой наклона, позволяет облучать УФ излучением участки малой площади

Высокая интенсивность излучения
Режимы He I и He II
Двухуровневая дифференциальная откачка

FEG1000 - электронная пушка с полевой эмиссией

Высокоэффективная пушка для получения точных результатов распылительного профилирования

Высокоточные результаты распылительного профилирования
Диапазон энергий ионов 100 эВ - 5 keV
Может быть использована в качестве источника ионов для ВИМС
Позволяет проводить анализ при помощи спектроскопии ионного рассеяния (ISS)
Нейтрализация заряд

EX03 - ионная пушка для очистки поверхности образца

Пушка перекрёстной ионизации для очистки поверхности большой площади и распылительного профилирования

Возможность облучения больших площадей поверхности
Диапазон энергий 300 эВ - 3 кэВ
Компактное исполнение

<< Вернуться на предыдущую страницу

Оборудование