РФЭ спектрометр Theta Probe

THETA PROBE –прорыв в области анализа поверхности и различных покрытий методами электронной спектроскопии. Позволяет проводить количественный и качественный анализ поверхности различных материалов и исследование сверхтонких плёнок. Прибор обладает уникальной функцией построения карт распределения химических элементов по поверхности, карт толщин покрытий, распределения примесей и т.д. Уникальная методика РФЭС с угловым разрешением (PARXPS) позволяет проводить широкий спектр неразрушающих исследований на неподвижном образце (определение последовательности слоёв, распылительное профилирование, анализ толщины скрытых слоёв, анализ однородности толщины, состава слоев и концентрации элементов в них и т.д.). Система является уникальной в своём роде, и при иcпользовании запатентованной методики PARXPS разрешение по глубине при неразрушающем профилировании составляет <0.1 нм.

В базовой комплектации прибор включает:

полусферический анализатор с двойной фокусировкой;
многоэлементную систему вводных линз RADIAN для спектроскопии;
многоканальный двумерный детектор для спектроскопии и PARXPS;

Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения:

монохроматор 250 мм (круг Роуланда);
микрофокусная электронная пушка и многопозиционный алюминиевый анод;
термостатированная система управления кристаллом и манипуляторы;
минимальный размер пятна - от 15 мкм

Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации:

Нейтрализация заряда
Функция электростатического отклонения для точной настройки
Источник низкоэнергетических электронов

Ионная пушка:

Очистка поверхности образца, распылительное профилирование
Дифференциальная откачка

Наблюдение за образцом:

Окно с защитой от рентгеновского излучения
Микроскоп для оптимизации положения образца с CCD камерой

Профиль распределения концентрации по глубине слоя оксинитрида кремния, полученный при помощи прибора Theta Probe.

3D представление распределения толщины оксида по поверхности пластины диаметром 200 мм.

Химическая карта распределения дозы азота по поверхности пластины диаметром 300 мм.

<< Вернуться на предыдущую страницу

Оборудование