|
В базовой комплектации прибор включает:
Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения:
Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации:
Ионная пушка:
Наблюдение за образцом:
|
|
Профиль распределения концентрации по глубине слоя оксинитрида кремния, полученный при помощи прибора Theta Probe.
3D представление распределения толщины оксида по поверхности пластины диаметром 200 мм.
Химическая карта распределения дозы азота по поверхности пластины диаметром 300 мм.