Контактные телефоны:
+375 17396 74 20
+375 29652 47 15

Стилусный профилометр P-16+

Стилусный профилометр P-16+

Стилусный профилометр P-16+ является верхней ступенью развития линейки стилусных профилометров P-series компании KLA-Tencor. Объединяя выдающиеся измерительные характеристики своего младшего брата P-6, профилометр P-16+ прибавляет к ним широкие возможности автоматизации процессов измерения, возможность построения 3D изображения напряжений поверхности, а так же многое другое. Выпускается профилометр P-16 в двух конфигурациях: P-16+ и P-16 OF, отличающихся габаритами и формой предметного столика.
P-16+ - система исследовательского класса, используемая в широком диапазоне приложений от научных задач до применения во многих отраслях промышленности.

 

 

 

Преимущества P-16+:

  • Лучшая в своем классе повторяемость измерений вертикальной ступеньки - 6 ангстрем;
  • Компактные размеры прибора при максимальной длине сканируемого участка в 200мм;
  • Режим измерений с пониженным усилием воздействия на стилус (до 0,05 мг);
  • Программное обеспечение Apex 2D и 3D для анализа поверхностей, набора статистических данных, оформления готового отчета.
  • Стилусные профилометры Р-16+ и Р-16+ OF  обеспечивают подробный двух и трехкоординатный анализ топографии поверхности широкого спектра материалов, включая: полупроводниковые многослойные материалы, тонкие пленки и химические покрытия, микроэлектромеханические системы, оптоэлектронику, медицинские и биологические устройства, а так же панели жидкокристаллических дисплеев.

Базовое оснащение включает в себя:

  • Автоматические последовательные измерения до 20 заданных областей;
  • Интегрированное прогрмаммное обеспечение "Apex Analisys 2D";
  • Вертикальный сенсор с диапазоном перемещения в 300 мкм;
  • Измерительная насадка "MicroHead 5SR";
  • Длина сканируемой области 80 мм;
  • Число срезов данных 4 000 000 за одно сканирование;
  • Частота следования срезов данных до 2 кГц;
  • Предметный столик круглой формы Ø 200 мм (для P-16+) и квадратный столик 240Х240 мм (для P-16 OF);
  • Визуализация с помощью двух видеокамер;
  • Алмазный стилус с радиусом скругления 2 мкм;
  • Персональный компьютер 2,8 ГГц, 17" дисплей, 80 Гб HDD, 1 Gb RAM, MS Windows XP.

Дополнительные опции для P-16:

  • Пакет "Производительность" открывает возможность задавать последовательность из 1000 областей измерения и распознавания образцов по подложке;
  • Программное обеспечение "Apex 3D" или "Profiler 3D";
  • Расширенный диапазон сканирования (до 200 мм);
  • Измерительная насадка "Microhead 5LF" для измерений с воздействием на стилус от 0,05 мг. Диапазон вертикального перемещения при этом составляет 130 мкм;
  • Измерительная насадка "Microhead 5XR" для измерений шероховатых поверхностей с высотой рельефа до 1 мм и усилием воздействия стилуса от 0,5 мг;
  • Круглый предметный столик  Ø 300 мм для P-16 OF;
  • Цветная USB видеокамера;
  • Объективы для видеокамер с площадью обзора 900Х650 мкм;
  • Дополнительное программное обеспечение: 2D или 3D стресс, комбинированная статистика, оф-лайн анализ;
  • Стилусы с различными радиусами скругления для разнообразных применений - от исследования покрытий до изучения микрорельефа поверхности.

Технические особенности и иллюстрации

Для упрощения процедуры позиционирования образца в профилометре P-16+ используется визуализация с помощью двух видеокамер. Вертикальная видеокамера позволяет с легкостью осуществлять перемещение по образцу, а так же удобно позиционировать сенсор в выбранном месте образца, а боковая, в свою очечредь, позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени

 

 

 

Оборудование