Контактные телефоны:
+375 17396 74 20
+375 29652 47 15

Стилусный профилометр P-6

 

Стилусный профилометр P-6

Стилусные профилометры P-series (в линейку которых и входит профилометр Р-6) относятся к классу контактных (механических) профилометров. Принцип их действия заключается в том, что алмазный стилус перемещается по поверхности, отслеживая рельеф. Сигнал о положении стилуса на поверхности оцифровывается и преобразуется в 2Dили 3Dкартинку.


 

Популярность у пользователей стилусного профилометра P-6 строится на использовании передовых разработок компании KLA-Tencor – программного управления предметным столиком, малошумящего измерительного тракта, высокого разрешения и размеров получаемых изображений. Все перечисленные характеристики приятно совмещаются с экономичной ценой прибора.

Исключительная точность анализа поверхности, возможность для осуществления которого предоставляет профилометр P-6, позволяет добиваться лучшего соотношения цена/качество среди всех производителей. Три различные измерительные насадки, доступные для этого прибора, обеспечивают гибкость измерения топографии поверхности в широких диапазонах вертикального перемещения, а интуитивно понятный интерфейс делает работу на приборе простой и понятной для пользователя.

Стилусный профилометр P-6 обладает выдающимися характеристиками, что делает его очень мощным инструментом для:

  • Разработки процессов производства и контроля научных исследований;
  • Производства фотоэлектрических элементов;
  • Производства устройств хранения данных;
  • Производства микроэлектромеханических систем;
  • Оптоэлектроники;
  • Прочих применений промышленной метрологии.


Ниже приведена краткая таблица измерительных характеристик профилометра P-6.


                                            
Измерительные возможности
Измеряемые характеристики 2D, 3D топография, 2D напряжения
Видеокамера Цифровая, USB, черно/белая (цветная – опционально)
Тип сенсора стилуса Емкостной
Контроль усилия воздействия Ручной, Динамический
Площадь обзора 2100х1700 мкм (1333х1080 мкм – опционально)
Площадь обзора   82х62 мкм - 5,3х4,0 мм     

Перемещение предметного столика

             X,Y
             Угол наклона
             Вращение

 

             Сервопривод
             Ручное
             Ручное
 

Размер предметного столика Ø150 мм
Операционная система Windows XP
Программное обеспечение Profiler 7.3.1   
Опции анализа Profiler SW, Apex 2D&3D
Анализ напряженности 2D
Средства автоматизации Последовательные измерения, постановка в очередь
Виброизоляция Пассивная, встроенная
Максимальное число последовательных измерений 20
Поддерживаемые стилусы Суб-микронные, 2,5,12.5,25 мкм
Вакуумный зажим По вертикали
Технические характеристики
Размер образца Не более 150 мм
Толщина образца Не более 50 мм
Длина сканируемого участка до 60 мм (базовая)/ до 150 мм (опционально)
Число срезов данных Не более 4 000 000
Диапазон перемещений по вертикали 1 мм
Повторяемость в измерении вертикальной ступеньки Не более 6 Å (1σ)
Разрешение по вертикали 0,0078 Å
Точность установки предметного столика 2 мкм
Скорость сканирования 2 мкм/с – 25 мм/с
Минимальная сила воздействия стилуса <0,05 мг
Частота срезов данных   2 кГц (максимально)

 

Основными приложениями для стилусного профилометра P-6 являются:

  • Измерение толщины и шероховатости тонких пленкок и покрытий;
  • Исследование структуры пластичных материалов (возможно за счет приложения переменного усилия к стилусу, использования емкостного датчика положения, а так же сменных стилусов);
  • Измерение глубины травления;
  • Вычисление более чем 40 различных параметров поверхности, в том числе шероховатость, плоскопараллельность, макрорельеф с помощью программного обеспечения для анализа пиков;
  • Расчет параметров топологии поверхности по данным измерений и преобразование результата в 3D модель. В качестве опции предлагается офлайн анализ данных, позволяющий производить анализ без влияния на производительность;
  • Измерение напряжений в тонких пленках (позволяет оптимизировать процессы для предотвращения появления трещин или нарушений адгезии);
  • Выявление дефектов поверхности. Продвинутые характеристики системы выявления дефектов позволяют добавлять модели дефектов, созданные пользователем. Даже самые маленькие дефекты в случае их обнаружения могут быть перемещены в центр сканируемой области, оптимизируя тем самым процесс обследования и анализа дефектов.

<< Вернуться на предыдущую страницу

 
 
 


 

Оборудование