Контактные телефоны:
+375 17396 74 20
+375 29652 47 15

РФЭС спектрометр Theta 300

 

За счет использования революционной технологии Theta 300,  производства Thermo Fisher Scientific позволяет проводить следующие типы неразрушающих исследований поверхности:

  • Доза
  • Чистота
  • Распределение химических состояний по поверхности
  • Толщина слоёв
  • Однородность слоёв (включая скрытые, подповерхностные слои)
  • Химический состав

Основные области применения:

  • High - k диэлектрики
  • Low - k диэлектрики
  • Барьерные слои
  • Примеси, имплантированные на микроскопическом уровне
  • Металлические затворы
  • Самоорганизующиеся слои
  • SiGe
  • Контактные площадки 

Чем может помочь метод РФЭС?

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) позволяет проводить анализ химических состояний на поверхности твёрдых материалов. Анализ образцов крупных размеров позволяет контролировать однородность полноразмерных полупроводниковых пластин.

Система позволяет проводить неразруша.ющий анализ сверхтонких покрытий (толщиной до 10 нм) с разрешением по глубине 0.1 нм, используя запатентованную технологию PARXPS (такая же система использована в приборе Theta Probe).

Для более толстых плёнок (до 2 мкм) используется система травления пучком ионов, которая позволяет проводить послойный анализ методом РФЭС для построение профилей распределения концентраций на большие глубины.

 

                         

            << Вернуться на предыдущую страницу
 
 
 


 

Оборудование